非接触三次元測定装置 NHシリーズ

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	加工から結像性能までの総合評価装置
	優れた機能と高いコストパフォーマンスを兼備したNHシリーズの標準システム
	60°以上の傾斜面のμm計測を可能にしたスティッチング計測技術
	測定精度、分解能を極めた高精度バージョン
	8インチウェハ、リードフレームなど高密度、大型化する半導体製品の品質管理に最適
	門型構造で精密金型等、大型重量物の高精度測定を実現
	液晶ディスプレイのパターン、大型非球面ミラー等をダイレクト測定

	■ スキャンＡＦによる高速測定　　8000点の測定点数が僅か15秒で！！ ■ 面領域での形状と粗さｊ評価 ■ 卓上でコンパクト、装置重量31kg ■ 半導体チップや基板の平坦度評価に
	XY軸600mm可動範囲の超精密ステージと0.01μｍの高さ分解能を持つポイントオートフォーカスプローブにより実現した高速・大型非接触三次元測定装置で、大型化高精度化する超精密部品の寸法・形状・面領域を高精度に測定できます。

　　三鷹光器(株)／(株)菱光社

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本装置はレーザプローブ方式により、形状・寸法・表面粗さ等の完全非接触、高精度、自動測定を実現したシステムで、これから更に小型・高精度・低コスト化が要求される光素子や半導体製品、超精密加工部品などの研究開発部門から生産ラインの品質管理に至るまで幅広く対応できるマルチメジャーな測定器です。

特徴
□	販売以来４年を経過して、非接触高さ測定の代名詞となったNH-３が高精度機種NH-３SPの機能をフィードバックして、新機種NH-３Nとなって登場
□	低反射率に左右されないオートフォーカス・完全非破壊測定・Z及びXYの全てに精度を追及した究極の非接触の世界を体感下さい

　仕様・測定機能

■ 仕様

■ 測定機能

三次元形状測定・断面形状測定・粗さ測定・自動測定・各種測定機能